Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi

ALPER KİRAZ (Koç Üniversitesi, Fizik Bölümü, İstanbul, Türkiye)
Volkan ÖTÜGEN (Adres Yazılmamış)
Zafer Ziya ÖZTÜRK, (Adres Yazılmamış)
Kenan ÇİÇEK (Adres Yazılmamış)
2 3

Proje Grubu: MFAG Sayfa Sayısı: 0 Proje No: 115F446 Proje Bitiş Tarihi: 01.04.2019 Metin Dili: Türkçe İndeks Tarihi: 17-03-2020

Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi

Öz:
Bu proje çerçevesinde, halka optik mikrorezonatörlerini kullanan ultrahassas, değişik optik sensörler geliştirilmiştir. Bu sensörler, sırasıyla sıvıdaki kırınım indisi, ortamdaki nem oranı, hidrojen gazı ve alkol buharının algılanmasına yönelik üretilmiş, karakterize edilmiş ve elde edilen sonuçlar iki doktora tezinin (biri tamamlanmış, biri devam etmekte) konusunu oluşturup uluslararası dergilerde yayınlanmış veya yayınlanmaya hazırlanmaktadır. Optik mikrorezonatörlerin çeperlerine yakın bölgelerde oluşan fısıldayan galeri modları (FGM?ler) bulundukları rezonatörün boyutları veya ortam kırınım indisine duyarlıdırlar ve bu parametrelerdeki değişimler, modlarda değişimlere sebep olur. Geliştirdiğimiz optik sensörlerin çalışma prensibi, bu modların, ortamdaki uyarıcıyla birlikte spektral olarak kaymasının incelenmesine dayalıdır. Standart tek modlu ve herhangi bir kaplaması olmayan bir optik fiberin optik rezonatör olarak kullanımı ile sıvı kırınım indisi algılaması gösterdik. Bu gösterimde ortamdaki kırınım indisi değişimi, FGM?lerde kaymaya yol açtı ve bu sayede algılama gerçekleştirildi. Bu sensör suda bulunan etanol ve etilen glikol solüsyonlarıyla test edilip, teorik hesaplamalarla karşılaştırılmış ve elde edilen sonuçlar uluslararası bir dergide yayınlanmıştır. Bir diğer sensör çalışmamızda, SU-8 polimerinden yapılan mikrodisk rezonatörleri, ortamdaki nem oranını yüksek hassasiyetle ölçmek için kullanılmıştır. Tek adımlı UV-fotolitografi ile yapılan bu sensörün hassasiyeti, literatürde bulunan en iyi nem sensörlerin hassasiyetine yakın elde edilmiştir. Bu çalışma sonlandırılmış olup uluslararası bir dergide yayınlanmıştır. Gösterdiğimiz bir diğer sensör, proje önerisinde önerilen özgün yapıya sahip olup hidrojen gazı algılaması için kullanılmıştır. Bu sensör yapısında paladyum metali ve polimer kaplı optik fiber rezonatör kullanılmıştır. Burada paladyum metali aktif madde olarak hidrojen gazına maruz kaldığı zaman latis genişlemesi gösterir ve FGM?lerde spektral kaymaya sebep olur. Bu çalışmada elde edilen deneysel sonuçlar ile birkaç uluslararası makale hazırlanmaktadır. Son olarak, hidrofobik polimer fırçaları, alkol buharlarını algılamak için fiber rezonatör üzerine aktif kaplama maddesi olarak önerilmiştir ve çalışmalar devam etmektedir. Polimer fırçalar, uyarıcı alkolün buharına maruz kaldığı zaman şişme gösterip ve benzer şekilde eşikte oluşan FGM?lerde spektral kaymaya sebep olurlar. Geliştirilmekte olan bu sensör ile yapılan ilk deneylerle umut vaat eden iyi sonuçlar elde edilmiştir. Bu çalışmanın ilk sonuçları uluslararası bir konferansta sunulmuştur ve çalışma yayınlanmak üzere hazırlanmaktadır.
Anahtar Kelime: polimer fırça alkol buharı sensörü paladyum fısıldayan galeri modu hidrojen sensörü Nem sensörü

Konular: Fizik, Uygulamalı Fizikokimya
Erişim Türü: Erişime Açık
  • Alefeld, G., Völkl, J. (1978). Hydrogen in Metals I, Vol 28 (Springer-Verlag Berlin Heidelberg).
  • 1- Integrated humidity sensor based on SU-8 polymer microdisk microresonator (Makale - İndeksli Makale),
  • Armani, D.K., Kippenberg, T.J., Spillane, S.M., and Vahala, K.J. (2003). Ultra-high-Q toroid microcavity on a chip. Nature 421, 925-928.
  • 2- Liquid Refractometric Sensors Based on Optical Fiber Resonators (Makale - İndeksli Makale),
  • Azzaroni, O. (2012). Polymer brushes here, there, and everywhere: Recent advances in their practical applications and emerging opportunities in multiple research fields. Journal of Polymer Science Part A: Polymer Chemistry 50, 3225-3258.
  • 3- Optical Sensors of Bulk Refractive Index Using Optical Fiber Resonator (Bildiri - Uluslararası Bildiri - Poster Sunum),
  • Barbey, R., Lavanant, L., Paripovic, D., Schüwer, N., Sugnaux, C., Tugulu, S., and Klok, H.-A. (2009). Polymer Brushes via Surface-Initiated Controlled Radical Polymerization: Synthesis, Characterization, Properties, and Applications. Chemical Reviews 109, 5437-5527.
  • 4- Optical sensors based on palladium and polymer-coated optical fiber resonators (Bildiri - Uluslararası Bildiri - Poster Sunum),
  • Behling, N., Williams, M.C., and Managi, S. (2015). Fuel cells and the hydrogen revolution: Analysis of a strategic plan in Japan. Economic Analysis and Policy 48, 204-221.
  • 5- Increasing the Sensitivity of the Optical Fiber Resonator by Using PGMA Polymer Brush Coated Fibers (Bildiri - Ulusal Bildiri - Poster Sunum),
  • Bévenot, X., Trouillet, A., Veillas, C., Gagnaire, H., and Clément, M. (2000). Hydrogen leak detection using an optical fibre sensor for aerospace applications. Sensors and Actuators B: Chemical 67, 57-67.
  • 6- Optofluidic Sensing with Optical Microresonators (Tez (Araştırmacı Yetiştirilmesi) - Doktora Tezi),
  • Bévenot, X., Trouillet, A., Veillas, C., Gagnaire, H., and Clément, M. (2002). Surface plasmon resonance hydrogen sensor using an optical fibre. Measurement Science and Technology 13, 118.
  • Bhola, B., Hyun-Chae, S., Tazawa, H., and Steier, W.H. (2005). Polymer microresonator strain sensors. Photonics Technology Letters, IEEE 17, 867-869.
  • Bhola, B., Nosovitskiy, P., Mahalingam, H., and Steier, W.H. (2009). Sol-Gel-Based Integrated Optical Microring Resonator Humidity Sensor. IEEE Sensors Journal 9, 740-747.
  • Birks, T.A., and Li, Y.W. (1992). The shape of fiber tapers. Lightwave Technology, Journal of 10, 432-438.
  • Boleininger, A., Lake, T., Hami, S., and Vallance, C. (2010). Whispering Gallery Modes in Standard Optical Fibres for Fibre Profiling Measurements and Sensing of Unlabelled Chemical Species. Sensors 10, 1765.
  • Butler, M.A. (1984). Optical fiber hydrogen sensor. Applied Physics Letters 45, 1007-1009.
  • Chen, Z.L., Chi (2005). Humidity Sensors: A Review of Materials and Mechanisms. Sensor Letters 3, 274-295.
  • Cho, S., and Jokerst, N.M. (2006). A Polymer Microdisk Photonic Sensor Integrated Onto Silicon. IEEE Photonics Technology Letters 18, 2096-2098.
  • Chou, Y.-I., Chiang, H.-C., and Wang, C.-C. (2008). Study on Pd functionalization of microcantilever for hydrogen detection promotion. Sensors and Actuators B: Chemical 129, 72-78.
  • Christofides, C., and Mandelis, A. (1990). Solid‐state sensors for trace hydrogen gas detection. Journal of Applied Physics 68, R1-R30.
  • Chtanov, A., and Gal, M. (2001). Differential optical detection of hydrogen gas in the atmosphere. Sensors and Actuators B: Chemical 79, 196-199.
  • Dai, D., Yang, L., Sheng, Z., Yang, B., and He, S. (2009). Compact Microring Resonator With 2x2 Tapered Multimode Interference Couplers. Journal of Lightwave Technology 27, 4878- 4883.
  • Dong, S., Bai, F., Li, J., and Viehland, D. (2003). Sound-resonance hydrogen sensor. Applied Physics Letters 82, 4590-4592.
  • Dresselhaus, M.S., and Thomas, I.L. (2001). Alternative energy technologies. Nature 414, 332- 337.
  • Eryürek, M., Karadag, Y., Ghafoor, M., Bavili, N., Cicek, K., and Kiraz, A. (2017). Liquid refractometric sensors based on optical fiber resonators. Sensors and Actuators A: Physical 265, 161-167.
  • Eryürek, M., Karadag, Y., Taşaltın, N., Kılınç, N., and Kiraz, A. (2015a). Optical sensor for hydrogen gas based on a palladium-coated polymer microresonator. Sensors and Actuators B: Chemical 212, 78-83.
  • Eryürek, M., Karadag, Y., Taşaltın, N., Kılınç, N., and Kiraz, A. (2015b). Optical sensor for hydrogen gas based on a palladium-coated polymer microresonator. Sensors and Actuators B: Chemical 212, 78-83.
  • Fanget, S., Hentz, S., Puget, P., Arcamone, J., Matheron, M., Colinet, E., Andreucci, P., Duraffourg, L., Myers, E., and Roukes, M.L. (2011). Gas sensors based on gravimetric detection—A review. Sensors and Actuators B: Chemical 160, 804-821.
  • Favier, F., Walter, E.C., Zach, M.P., Benter, T., and Penner, R.M. (2001). Hydrogen Sensors and Switches from Electrodeposited Palladium Mesowire Arrays. Science 293, 2227-2231.
  • Felipe, A., Espíndola, G., Kalinowski, H.J., Lima, J.A.S., and Paterno, A.S. (2012). Stepwise fabrication of arbitrary fiber optic tapers. Optics Express 20, 19893-19904.
  • Flatae, A.M., Burresi, M., Zeng, H., Nocentini, S., Wiegele, S., Parmeggiani, C., Kalt, H., and Wiersma, D. (2015). Optically controlled elastic microcavities. Light Sci Appl 4, e282.
  • Foreman, M.R., Swaim, J.D., and Vollmer, F. (2015). Whispering gallery mode sensors. Adv Opt Photon 7, 168-240.
  • Galvin, C.J., and Genzer, J. (2016). Swelling of Hydrophilic Polymer Brushes by Water and Alcohol Vapors. Macromolecules 49, 4316-4329.
  • Gardner, K., Zhi, Y., Tan, L., Lane, S., Xiao, Y.F., and Meldrum, A. (2017). Whispering gallery mode structure in polymer-coated lasing microspheres. Journal of the Optical Society of America B 34, 2140-2146.
  • Gendron, P.O., Avaltroni, F., and Wilkinson, K.J. (2008). Diffusion Coefficients of Several Rhodamine Derivatives as Determined by Pulsed Field Gradient–Nuclear Magnetic Resonance and Fluorescence Correlation Spectroscopy. J Fluoresc 18, 1093-1101.
  • Ghadiry, M., Gholami, M., Lai, C.K., Ahmad, H., and Chong, W.Y. (2016). Ultra-Sensitive Humidity Sensor Based on Optical Properties of Graphene Oxide and Nano-Anatase TiO2. PLOS ONE 11, e0153949.
  • Griffin, B.G., Arbabi, A., Kasten, A.M., Choquette, K.D., and Goddard, L.L. (2012). Hydrogen Detection Using a Functionalized Photonic Crystal Vertical Cavity Laser. Quantum Electronics, IEEE Journal of 48, 160-168.
  • Hosseini, S.E., and Wahid, M.A. (2016). Hydrogen production from renewable and sustainable energy resources: Promising green energy carrier for clean development. Renewable and Sustainable Energy Reviews 57, 850-866.
  • Hübert, T., Boon-Brett, L., Black, G., and Banach, U. (2011). Hydrogen sensors – A review. Sensors and Actuators B: Chemical 157, 329-352.
  • Hulst, H.C., and van de Hulst, H.C. (1957). Light Scattering by Small Particles (Dover Publications).
  • Hung, C.-W., Lin, K.-W., Liu, R.-C., Tsai, Y.-Y., Lai, P.-H., Fu, S.-I., Chen, T.-P., Chen, H.-I., and Liu, W.-C. (2007). On the hydrogen sensing properties of a Pd/GaAs transistor-type gas sensor in a nitrogen ambiance. Sensors and Actuators B: Chemical 125, 22-29.
  • Ilchenko, V.S., and Matsko, A.B. (2006). Optical resonators with whispering-gallery modespart II: applications. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 12, 15-32.
  • Jonáš, A., Karadag, Y., Mestre, M., and Kiraz, A. (2012). Probing of ultrahigh optical Q-factors of individual liquid microdroplets on superhydrophobic surfaces using tapered optical fiber waveguides. J Opt Soc Am B 29, 3240-3247.
  • Kalli, K., Othonos, A., and Christofides, C. (2002). Characterization of reflectivity inversion, αand β-phase transitions and nanostructure formation in hydrogen activated thin Pd films on silicon based substrates. Journal of Applied Physics 91, 3829-3840.
  • Kanungo, J., Saha, H., and Basu, S. (2009). Room temperature metal–insulator– semiconductor (MIS) hydrogen sensors based on chemically surface modified porous silicon. Sensors and Actuators B: Chemical 140, 65-72.
  • Knight, J.C., Cheung, G., Jacques, F., and Birks, T.A. (1997). Phase-matched excitation of whispering-gallery-mode resonances by a fiber taper. Optics Letters 22, 1129-1131.
  • Kolpakov, S.A.G., N.T.; Mou, C.; Zhou, K. (2014). Toward a New Generation of Photonic Humidity Sensors. Sensors 14, 3986-4013.
  • Korotcenkov, G., Han, S.D., and Stetter, J.R. (2009). Review of Electrochemical Hydrogen Sensors. Chemical Reviews 109, 1402-1433.
  • Lee BY, O.L., Thoden WR, Madden JL (1987). Effect of lumbar sympathectomy on muscle blood flow: distribution of perfusion measured by hydrogen clearance in skeletal muscle. J Rehabil Res Dev 24, 1-8.
  • Lee, E.-B., Hwang, I.-S., Cha, J.-H., Lee, H.-J., Lee, W.-B., Pak, J.J., Lee, J.-H., and Ju, B.-K. (2011). Micromachined catalytic combustible hydrogen gas sensor. Sensors and Actuators B: Chemical 153, 392-397.
  • Lee, E., Lee, J.M., Koo, J.H., Lee, W., and Lee, T. (2010). Hysteresis behavior of electrical resistance in Pd thin films during the process of absorption and desorption of hydrogen gas. International Journal of Hydrogen Energy 35, 6984-6991.
  • Li, H., Dong, B., Zhang, Z., Zhang, H.F., and Sun, C. (2014). A transparent broadband ultrasonic detector based on an optical micro-ring resonator for photoacoustic microscopy. Scientific Reports 4, 4496.
  • Lim, D.-I., Cha, J.-R., and Gong, M.-S. (2013). Preparation of flexible resistive micro-humidity sensors and their humidity-sensing properties. Sensors and Actuators B: Chemical 183, 574- 582.
  • Lv, J., Cheng, Y., Yuan, W., Hao, X., and Chen, F. (2015). Three-dimensional femtosecond laser fabrication of waveguide beam splitters in LiNbO3 crystal. Optical Materials Express 5, 1274-1280.
  • Ma, Q., Huang, L., Guo, Z., and Rossmann, T. (2010). Spectral shift response of optical whispering-gallery modes due to water vapor adsorption and desorption. Measurement Science and Technology 21, 115206.
  • Maciak, E., and Opilski, Z. (2007). Transition metal oxides covered Pd film for optical H2 gas detection. Thin Solid Films 515, 8351-8355.
  • Manzo, M., Ioppolo, T., Ayaz, U.K., LaPenna, V., and Ötügen, M.V. (2012). A photonic wall pressure sensor for fluid mechanics applications. Review of Scientific Instruments 83, 105003.
  • McCaig, H.C., Myers, E., Lewis, N.S., and Roukes, M.L. (2014). Vapor Sensing Characteristics of Nanoelectromechanical Chemical Sensors Functionalized Using Surface-Initiated Polymerization. Nano Letters 14, 3728-3732.
  • Mehrabani, S., Kwong, P., Gupta, M., and Armani, A.M. (2013). Hybrid microcavity humidity sensor. Applied Physics Letters 102, 241101.
  • Merkel, T.C., Bondar, V.I., Nagai, K., Freeman, B.D., and Pinnau, I. (2000). Gas sorption, diffusion, and permeation in poly(dimethylsiloxane). Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics 38, 415-434.
  • Miyazaki, E., Kojima, I., and Kojima, S. (1985). Chemisorption of molecular nitrogen on palladium surfaces at and above room temperature. Langmuir 1, 264-266.
  • Noh, J.-S., Lee, J.M., and Lee, W. (2011). Low-dimensional palladium nanostructures for fast and reliable hydrogen gas detection. Sensors (Basel) 11, 825-851.
  • Ong, B.H., Yuan, X., Tao, S., and Tjin, S.C. (2006). Photothermally enabled lithography for refractive-index modulation in SU-8 photoresist. Optics Letters 31, 1367-1369.
  • Ramachandran, R., and Menon, R.K. (1998). An overview of industrial uses of hydrogen. International Journal of Hydrogen Energy 23, 593-598.
  • Righini, G.C., Dumeige, Y., Féron, P., Ferrari, M., Nunzi Conti, G., Ristic, D., and Soria, S. (2011). Whispering gallery mode microresonators: fundamentals and applications. Rivista del Nuovo Cimento 34, 435.
  • Rittersma, Z.M. (2002). Recent achievements in miniaturised humidity sensors—a review of transduction techniques. Sensors and Actuators A: Physical 96, 196-210.
  • Rivadeneyra, A., Fernández-Salmerón, J., Agudo-Acemel, M., López-Villanueva, J.A., Capitan-Vallvey, L.F., and Palma, A.J. (2016). Printed electrodes structures as capacitive humidity sensors: A comparison. Sensors and Actuators A: Physical 244, 56-65.
  • Sager, K., Schroth, A., Nakladal, A., and Gerlach, G. (1996). Humidity-dependent mechanical properties of polyimide films and their use for IC-compatible humidity sensors. Sensors and Actuators A: Physical 53, 330-334.
  • Schlapbach, L., and Züttel, A. (2001). Hydrogen-storage materials for mobile applications. Nature 414, 353-358.
  • Schmid, S., Kühne, S., and Hierold, C. (2009). Influence of air humidity on polymeric microresonators. Journal of Micromechanics and Microengineering 19, 065018.
  • Seader, J., J.J. Siirola, and S.D. Barnicki (1997). Perry's Chemical Engineers' Handbook, 9th Edition edn (McGraw-Hill Education).
  • Serpengüzel, A., Swindal, J.C., Chang, R.K., and Acker, W.P. (1992). Two-dimensional imaging of sprays with fluorescence, lasing, and stimulated Raman scattering. Appl Opt 31, 3543-3551.
  • Sikarwar, S., and Yadav, B.C. (2015). Opto-electronic humidity sensor: A review. Sensors and Actuators A: Physical 233, 54-70.
  • Silva, S.F., Coelho, L., Frazao, O., Santos, J.L., and Malcata, F.X. (2012). A Review of Palladium-Based Fiber-Optic Sensors for Molecular Hydrogen Detection. Sensors Journal, IEEE 12, 93-102.
  • Sirbuly, D.J., Létant, S.E., and Ratto, T.V. (2008). Hydrogen Sensing with Subwavelength Optical Waveguides via Porous Silsesquioxane-Palladium Nanocomposites. Advanced Materials 20, 4724-4727.
  • Srinivasan, K., Barclay, P.E., Borselli, M., and Painter, O. (2004). Optical-fiber-based measurement of an ultrasmall volume high-$Q$ photonic crystal microcavity. Physical Review B 70, 081306.
  • Sumetsky, M., DiGiovanni, D.J., Dulashko, Y., Fini, J.M., Liu, X., Monberg, E.M., and Taunay, T.F. (2011). Surface nanoscale axial photonics: robust fabrication of high-quality-factor microresonators. Optics Letters 36, 4824-4826.
  • Sun, L., Baker, G.L., and Bruening, M.L. (2005). Polymer Brush Membranes for Pervaporation of Organic Solvents from Water. Macromolecules 38, 2307-2314.
  • Sun, Y., and Fan, X. (2011). Optical ring resonators for biochemical and chemical sensing. Analytical and Bioanalytical Chemistry 399, 205-211.
  • Tripathy, A.P., S.; Cho, J.; Santhosh, J.; Abu Osman, N.A. (2014). Role of Morphological Structure, Doping, and Coating of Different Materials in the Sensing Characteristics of Humidity Sensors. Sensors 14, 16343-16422.
  • Vahala, K.J. (2003). Optical microcavities. Nature 424, 839-846.
  • Villatoro, J., and Monzón-Hernández, D. (2005). Fast detection of hydrogen with nano fiber tapers coated with ultra thin palladium layers. Optics Express 13, 5087-5092.
  • Vollmer, F., Braun, D., Libchaber, A., Khoshsima, M., Teraoka, I., and Arnold, S. (2002). Protein detection by optical shift of a resonant microcavity. Applied Physics Letters 80, 4057- 4059.
  • Wu, Y., Zhang, T., Rao, Y., and Gong, Y. (2011). Miniature interferometric humidity sensors based on silica/polymer microfiber knot resonators. Sensors and Actuators B: Chemical 155, 258-263.
  • Xi, W., Fuxing, G., and Heping, Z. (2015). Palladium-Coated Silica Microfiber Knots for Enhanced Hydrogen Sensing. Photonics Technology Letters, IEEE 27, 1228-1231.
  • Xu, T., Zach, M.P., Xiao, Z.L., Rosenmann, D., Welp, U., Kwok, W.K., and Crabtree, G.W. (2005). Self-assembled monolayer-enhanced hydrogen sensing with ultrathin palladium films. Applied Physics Letters 86, 203104.
  • Yebo, N.A., Taillaert, D., Roels, J., Lahem, D., Debliquy, M., Van Thourhout, D., and Baets, R. (2009). Silicon-on-Insulator (SOI) Ring Resonator-Based Integrated Optical Hydrogen Sensor. Photonics Technology Letters, IEEE 21, 960-962.
  • Yorulmaz, S.C., Mestre, M., Muradoglu, M., Alaca, B.E., and Kiraz, A. (2009). Controlled observation of nondegenerate cavity modes in a microdroplet on a superhydrophobic surface. Optics Communications 282, 3024-3027.
  • Zhang, J., Tan, K.L., and Gong, H.Q. (2001). Characterization of the polymerization of SU-8 photoresist and its applications in micro-electro-mechanical systems (MEMS). Polymer Testing 20, 693-701.
  • Zhang, J., Zhong, J., Fang, Y.F., Wang, J., Huang, G.S., Cui, X.G., and Mei, Y.F. (2014). Roll up polymer/oxide/polymer nanomembranes as a hybrid optical microcavity for humidity sensing. Nanoscale 6, 13646-13650.
APA Kiraz A, ÖTÜGEN V, OZTURK Z, ÇİÇEK K (2019). Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. , 1 - 0.
Chicago Kiraz Alper,ÖTÜGEN Volkan,OZTURK Zafer Ziya,ÇİÇEK Kenan Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. (2019): 1 - 0.
MLA Kiraz Alper,ÖTÜGEN Volkan,OZTURK Zafer Ziya,ÇİÇEK Kenan Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. , 2019, ss.1 - 0.
AMA Kiraz A,ÖTÜGEN V,OZTURK Z,ÇİÇEK K Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. . 2019; 1 - 0.
Vancouver Kiraz A,ÖTÜGEN V,OZTURK Z,ÇİÇEK K Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. . 2019; 1 - 0.
IEEE Kiraz A,ÖTÜGEN V,OZTURK Z,ÇİÇEK K "Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi." , ss.1 - 0, 2019.
ISNAD Kiraz, Alper vd. "Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi". (2019), 1-0.
APA Kiraz A, ÖTÜGEN V, OZTURK Z, ÇİÇEK K (2019). Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. , 1 - 0.
Chicago Kiraz Alper,ÖTÜGEN Volkan,OZTURK Zafer Ziya,ÇİÇEK Kenan Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. (2019): 1 - 0.
MLA Kiraz Alper,ÖTÜGEN Volkan,OZTURK Zafer Ziya,ÇİÇEK Kenan Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. , 2019, ss.1 - 0.
AMA Kiraz A,ÖTÜGEN V,OZTURK Z,ÇİÇEK K Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. . 2019; 1 - 0.
Vancouver Kiraz A,ÖTÜGEN V,OZTURK Z,ÇİÇEK K Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi. . 2019; 1 - 0.
IEEE Kiraz A,ÖTÜGEN V,OZTURK Z,ÇİÇEK K "Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi." , ss.1 - 0, 2019.
ISNAD Kiraz, Alper vd. "Palladyum İçeren Polimer Mikroküre Mikrorezonatörleri Kullanan Hidrojen Gaz Sensörlerinin Geliştirilmesi". (2019), 1-0.
Sayfa Oluşturulma Tarihi
24-04-2024 1:41

İLETİŞİM

TÜBİTAK ULAKBİM TR Dizin

Yüzüncüyıl, İşçi Blokları Mahallesi

Muhsin Yazıcıoğlu Caddesi No:51/C

06530 Çankaya / ANKARA +90 (312) 298 92 00

trdizin@tubitak.gov.tr

TÜBİTAK ULAKBİM Ulusal Akademik Ağ ve Bilgi Merkezi Cahit Arf Bilgi Merkezi © Tüm Hakları Saklıdır. Gizlilik Politikası Kullanım Şartları