TY - JOUR TI - Spray Pyrolysis Yöntemiyle Üretilen In2O Filmlerinin Yapısal ve Optik Özellikleri AB - Geçirgen iletken oksitlerden biri olan indiyum oksit (In2O3) yarıiletken filmleri spray pyrolysis yöntemiyle 300, 350 ve 400 °C taban sıcaklıklarında cam tabanlar üzerine elde edilmiştir. X-ışını kırınım desenleri incelendiğinde, numunelerin cisim merkezli kübik In2O3 kristal yapısına sahip olduğu ve taban sıcaklığı artışının filmlerin yapısal özelliklerini iyileştirdiği belirlenmiştir. Alan emisyon taramalı elektron mikroskobu görüntülerinden, elde edilen filmlerin yüzeye iyi tutunduğu, homojen bir dağılım sergilediği ve taneli bir yapılanmanın olduğu saptanmıştır. Geçirgenlik ölçümlerinden numunelerin direkt bant geçişine sahip olduğu ve bant aralığı değerlerinin 3,38 - 3,67 eV aralığında değiştiği belirlenmiştir. Numunelerin kırılma indisi ve sönüm katsayısı spektrumundan envelope yöntemi yardımıyla incelenmiştir. In2O3filmlerinin dielektrik sabitleri (n, k, ?1 ve ??), plazma frekansı ?pve taşıyıcı yoğunluğu Nopt gibi optik parametreleri de belirlenmiştir AU - TURAN, EVREN AU - ZEYBEKOĞLU, Esra PY - 2017 JO - Dokuz Eylül Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Fen ve Mühendislik Dergisi VL - 19 IS - 56 SN - 1302-9304 SP - 432 EP - 446 DB - TRDizin UR - http://search/yayin/detay/232365 ER -