@article{DÖLEN2002_32141,
author={Melik DÖLEN and Halit KAPLAN},
title={Mikro Elektro Mekanik Sistemler(MEMS): Genel bir tanıtım},
year={2002},
journal={Makina Tasarım ve Imalat Dergisi},
issn={1302-9487},
volume={4},
number={3},
url={http://search/yayin/detay/32141}
}