TY  - JOUR
TI  - Mikro Elektro Mekanik Sistemler(MEMS): Genel bir tanıtım
AB  - Bu makelede yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir.Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme,elektro-erozyon,lezerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp,karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır.Bu ürtim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro-eyleyicilere ("micro-actuarors") çeşitli örnekler verilecektir.Bu makelede ayrıca mikro-mekanik sisitemlerin (dizgelerin) tasarlanmasında kullanılan ölçeklendirme kanunları ele alınacaktır.
AU  - DÖLEN, Melik
AU  - KAPLAN, Halit
PY  - 2002
JO  - Makina Tasarım ve Imalat Dergisi
VL  - 4
IS  - 3
SN  - 1302-9487
SP  - 173
EP  - 185
DB  - TRDizin
UR  - http://search/yayin/detay/32141
ER  -