TY - JOUR TI - Görüntü işleme algoritması kullanarak elektrotermal mikro-aktüatörün karakterizasyonu AB - 3B üretim teknolojisi son zamanlarda çeşitli uygulamalarda kullanılmak üzere 3B parçaların hızlı üretilmesiyle büyük bir ilgi gördü. Bu makale, 3B üretim yöntemlerinden biri olan dijital ışık işleme (DLP) kullanılarak üretilen elektrotermal mikro-aktüatörün karakterizasyon çalışmasını sunmaktadır. Bu aktüatör, belirlenen kriterlere göre iki yönde hareket edebilecek biçimde tasarlanmış ve üretimi gerçekleştirilmiştir. Üretim sürecinde 3 farklı deney yapılmıştır. İlk 2 deneyin üretim sürecinde mikro-aktüatörün yapısında bozulmalar veya kırılmalar ortaya çıkmıştır. Bu sorunlar 3. deneyin üretiminde meydana gelmemiştir. Aktüatörün farklı çalışma gerilim değerleri altında yer değiştirmesini gözlemlemek için bir karakterizasyon deney düzeneği oluşturulmuştur. Bu düzenek, prob istasyonunda yer değiştirmeleri gözlemlemek için optik mikroskop ve dijital kamera içermektedir. Gözlemlenen yer değiştirmeleri tespit etmek için görüntü işleme algoritması kullanılmıştır. Deneysel çalışmalarda mikro-aktüatörün yapısında bozulma veya kırılma gözlemlenene kadar çalışma gerilimi 0V’dan 1V’luk artışlarla artırılmıştır. Mikro-aktüatöre 6V gerilim uygulandığında, her yönde maksimum 3,84 µm yer değiştirme meydana gelmiştir. Mikro-aktüatöre 6V’dan fazla gerilim uygulandığında ise aktüatörün kollarında bozulmalar veya kırılmalar meydana gelmiştir. Sonuç olarak, mikro-aktüatörün tasarımı çift yönlü olduğundan maksimum yer değiştirmesi 7,68 µm'dir. AU - ERTUGRUL, ISHAK AU - akkus, nihat AU - ÜLKİR, OSMAN DO - 10.17341/gazimmfd.683386 PY - 2021 JO - Gazi Üniversitesi Mühendislik Mimarlık Fakültesi Dergisi VL - 36 IS - 2 SN - 1300-1884 SP - 1159 EP - 1170 DB - TRDizin UR - http://search/yayin/detay/494470 ER -