20 1

Proje Grubu: EEEAG Sayfa Sayısı: 68 Proje No: 101E023 Proje Bitiş Tarihi: 01.03.2005 Metin Dili: Türkçe İndeks Tarihi: 29-07-2022

MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi

Öz:
RF MEMS (Radyo Frekansı Mikro-Elektro-Mekanik Sistemleri) elemanları, mikrodalga frekanslarda çalışan devrelerde kullanılmak üzere fotolitografik işlemlerle üretilen elemanlardır. Bu elemanlar, ucuz, düşük güç harcayan, hafif ve küçük sistemler geliştirilmesine olanak vermektedir. RF uygulamalar için, kapalı olduğunda düşük araya sokma yitimine sahip ve açık olduğunda yüksek izolasyon sağlayan mikro mekanik anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreleri ya da faz dizili antenler bu teknoloji ile üretilebilmektedir. RF MEMS'in bu özellikleri ve kritik alanlardaki uygulamaları sebebi ile, MEMS teknolojisiyle RF devre elemanları geliştirmek üzere, Orta Doğu Teknik Üniversitesindeki (ODTÜ) Mikrodalga Grubu ve MEMS grubu ortak bir çalışma başlatmıştır. Ortak çalışma, RF MEMS konusunda bir bilgi birikimi oluşturmak için geniş bir literatür taraması ile başlamıştır. Edinilen bilgiler ışığında yeni RF MEMS yapıları tasarlanmış ve bu yapıların teorik olarak çalıştıkları HFSS ve MEMCAD yazılımları kullanılarak gösterilmiştir. Bu raporda ODTÜ'de TÜBİTAK desteğiyle gerçekleştirilmiş 101E023 numaralı "MEMS Teknolojisi ile RF Devre Elemanlarının Geliştirilmesi" projesi kapsamında yapılan işler anlatılmaktadır. ODTÜ Mikroelektronik Tesisleri'nde gerçekleştirilen üretim süreçleri, yapılan benzetimlerin sonuçları, ve tüm bunlar ile tasarlanan, üretilen ve test edilen anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreler ve faz dizili antenler bu raporun kapsadığı konulardır.
Anahtar Kelime:

MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi

Öz:
RF MEMS (Radio Frequency Micro-Electro-Mechanical Systems) components are fabricated by photolithographic processes to be used in circuits operating in microwave frequencies. RF MEMS technology enable us to develop low-power, light, inexpensive and small systems. By this technology, components like switches having low insertion loss and high isolation^ phase shifters, impedance matchers and phased array antennas can be designed and fabricated. Considering the critical application areas and high performance of RF MEMS, in order to develop RF circuit components using MEMS technology Middle East Technical University Microwave group and MEMS group began a collaborative work. This work advanced after an extensive literature search and in the light of the gained knowledge, new RF MEMS components are designed whose operation are theoratically proved by HFSS and MEMCAD softwares. This report presents the studies done in the scope of TÜBİTAK project "MEMS Teknolojisi ile RF Devre Elemanlarının Geliştirilmesi". The improved fabrication proces developed at METU Microelectronic Facilities (METU-MET), simulation results and the components designed, fabricated and measured such as switches, phase shifters, impedans matchers and phased array antennas are the subjects of this report.
Anahtar Kelime:

Erişim Türü: Erişime Açık
APA KOÇ S, TOPALLI K, İSTANBULLOĞLU İ, ERDİL E, ONAT S, AKIN T, ÇİVİ Ö, DEMİR Ş, Ünlü M (2005). MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. , 1 - 68.
Chicago KOÇ Sencer,TOPALLI Kağan,İSTANBULLOĞLU İpek,ERDİL Emre,ONAT Sinan,AKIN Tayfun,ÇİVİ Özlem,DEMİR Şimşek,Ünlü Mehmet MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. (2005): 1 - 68.
MLA KOÇ Sencer,TOPALLI Kağan,İSTANBULLOĞLU İpek,ERDİL Emre,ONAT Sinan,AKIN Tayfun,ÇİVİ Özlem,DEMİR Şimşek,Ünlü Mehmet MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. , 2005, ss.1 - 68.
AMA KOÇ S,TOPALLI K,İSTANBULLOĞLU İ,ERDİL E,ONAT S,AKIN T,ÇİVİ Ö,DEMİR Ş,Ünlü M MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. . 2005; 1 - 68.
Vancouver KOÇ S,TOPALLI K,İSTANBULLOĞLU İ,ERDİL E,ONAT S,AKIN T,ÇİVİ Ö,DEMİR Ş,Ünlü M MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. . 2005; 1 - 68.
IEEE KOÇ S,TOPALLI K,İSTANBULLOĞLU İ,ERDİL E,ONAT S,AKIN T,ÇİVİ Ö,DEMİR Ş,Ünlü M "MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi." , ss.1 - 68, 2005.
ISNAD KOÇ, Sencer vd. "MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi". (2005), 1-68.
APA KOÇ S, TOPALLI K, İSTANBULLOĞLU İ, ERDİL E, ONAT S, AKIN T, ÇİVİ Ö, DEMİR Ş, Ünlü M (2005). MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. , 1 - 68.
Chicago KOÇ Sencer,TOPALLI Kağan,İSTANBULLOĞLU İpek,ERDİL Emre,ONAT Sinan,AKIN Tayfun,ÇİVİ Özlem,DEMİR Şimşek,Ünlü Mehmet MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. (2005): 1 - 68.
MLA KOÇ Sencer,TOPALLI Kağan,İSTANBULLOĞLU İpek,ERDİL Emre,ONAT Sinan,AKIN Tayfun,ÇİVİ Özlem,DEMİR Şimşek,Ünlü Mehmet MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. , 2005, ss.1 - 68.
AMA KOÇ S,TOPALLI K,İSTANBULLOĞLU İ,ERDİL E,ONAT S,AKIN T,ÇİVİ Ö,DEMİR Ş,Ünlü M MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. . 2005; 1 - 68.
Vancouver KOÇ S,TOPALLI K,İSTANBULLOĞLU İ,ERDİL E,ONAT S,AKIN T,ÇİVİ Ö,DEMİR Ş,Ünlü M MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi. . 2005; 1 - 68.
IEEE KOÇ S,TOPALLI K,İSTANBULLOĞLU İ,ERDİL E,ONAT S,AKIN T,ÇİVİ Ö,DEMİR Ş,Ünlü M "MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi." , ss.1 - 68, 2005.
ISNAD KOÇ, Sencer vd. "MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi". (2005), 1-68.